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电容式微加速度计模拟前端接口电路设计

更新时间：2020-08-25 11:08:52 大小：801K 上传用户：xiaohei1810查看TA发布的资源 标签：加速度计 下载积分：5分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

基于连续时问的全差分电容结构，设计了一款电容式微加速度计模拟前端接口电路。该电路采用了斩波稳定技术，减小了运算放大器的直流偏差和闪烁噪声，同时，引入了一种周期复位的方法来稳定电压电容转换器输入端口求和节点的直流偏置，并实现了灵敏度可调的功能。该设计在TSMC0．35Hm工艺下流片，面积为3．4mm2。测试结果表明，在5V供电电压下，电路非线性度小于O．7％，功耗约9．4mW。

This paper describes a CMOS analog front-end (AFE) interface circuit for the capacitive microelectro-mechanical systems (MEMS) accelerometer. The interface circuit is implemented in a continuous-time (CT)fully-differential capacitance to voltage converter(CVC)topology. Chopper stabilization(CHS)technique is used to reduce DC offset and 1/f noise of the amplifier. A periodic reset is utilized to set a stable DC bias at the summing nodes of the capacitance to voltage amplifier. An adjustable sensitivity can also be achieved in this design. A prototype interface circuit is fabricated in a 0.35μm standard CMOS process with an area of 3.4mm 2 . The measured results show that the circuit has a nonlinearity of 0.7% and draws 9.4mW under 5-V supply.

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