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基于电容传感器的薄膜厚度测量系统设计
资料介绍
本文分析了测厚系统的测量原理,并对整个测量系统的硬件组成进行了介绍,最后对系统进行整体测试.结果表明,该系统测量薄膜厚度可以达到很好的测量效果,具有很高的应用价值.
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资料：bitboy
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