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寄生电容对电容式加速度传感器输出电压的影响

更新时间：2020-06-24 15:15:36 大小：1M 上传用户：xiaohei1810查看TA发布的资源 标签：加速度传感器 下载积分：5分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

电容检测是保证电容式加速度传感器正常工作的重要条件之一。传感器中敏感结构间的寄生电容会对电容检测产生影响。文中建立了传感器敏感结构的等效模型,分析了寄生电容对输出电压产生的影响。文中首先分析了电容式加速度传感器中检测电路的工作原理。其次,根据敏感结构的组成分析待测电容以及寄生电容的分布情况,以及寄生电容对电容检测结果的影响。最后,通过实验验证理论分析的结果。

Capacitance detection is one of the essential procedures for the capacitive microaccelerometer to function well.The accuracy of the detection could be affected by the stray capacitance due to the shields of the microaccelerometer.In this paper,the effect of stray capacitances on the detection accuracy is analyzed through the sensing structure model of the microaccelerometer.Basic principle of the capacitance detection in the microaccelerometer and the distribution of sensing capacitances and stray capacitances are introduced in this paper.The effect of stray capacitances is analyzed and verified through experiments.

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