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基于虚拟仪器的镀膜机监控系统

更新时间：2020-03-23 10:07:25 大小：3M 上传用户：IC老兵查看TA发布的资源 标签：虚拟仪器 下载积分：3分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

近年来，光学薄膜的应用领域不断扩展，这些应用领域对光学薄膜元器件性能的要求也越来越高，推动了光学薄膜技术不断的发展。光学薄膜制备技术始终是薄膜技术研究的热点，其工艺基础是镀膜设备，因此对镀膜设备的研究就极为重要。随着电子技术的发展，设备的自动化是大势所趋，对现有设备的自动化升级意义重大。目前国内外对此进行了大量的研究工作，国外的知名公司已经开发出了全自动运行的高性能的光学镀膜设备，国内的部分研究机构也开发出了能部分自动化运行的光学镀膜设备。这些全自动、半自动设备大大改善了光学薄膜的性能。本实验室的一部光学镀膜机的操作基本上由人工来完成，难以保证镀膜的质量和重复性，为了改善镀膜质量，对其进行自动化改造迫在眉睫。      虚拟仪器(Ⅵ)是仪器仪表历史发展上的一次重大变革，是对传统仪器的重大突破，代表着仪器仪表发展的最新方向和潮流，是当前的热点技术，在测控领域得到广泛的应用。      本课题旨在采用虚拟仪器技术，设计应用于本实验室的镀膜机的监控系统，对其进行自动化改造。由于薄膜厚度是影响光学薄膜性能的关键因素，本课题首先设计了薄膜厚度监控系统，并实现了控制部分开关动作的功能。主要工作特点包括：      1．采用虚拟仪器技术，使用了LabVIEW开发平台，使得监控系统的扩展性好。所建立的操作界面美观、交互性能良好。      2．采用了美国国家仪器公司的PCI-6200数据采集卡，分辨率高，性能稳定，使用方便。      3．设计了直流滤波、放大电路模块，对前端微弱信号进行滤波、放大，改善了数据采集的效果。      4．开发的软件系统功能完善，具有数据采集、数字滤波、极值点判断、数据实时显示、数据存储、历史数据再现等功能。      5．薄膜厚度监控系统是建立在采用光电极值法的CA-6E监控单元基础上的，利用了它的膜厚信号获取能力。监控算法中的膜厚极值点的判断结合了斜率法和拟合预判法。      6．采用单片机控制开关动作，单片机与计算机建立了支持Modbus通信协议的串行通信，降低了数据传输的错误率。  

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