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  • 射频电源研究综述_马梅彦

    大小：202K 更新时间：2018-09-14 下载积分：1分

    射频电源是可以产生固定频率的正弦波、具有一定频率的高频电源，主要由射频信号源、射频功率放大器及阻抗匹配器组成，射频电源作为等离子体配套电源，广泛应用于半导体工艺设备、ＬＥＤ与太阳能光伏行业、科学实验中...

    标签：射频电源

  • 射频电源工作原理

    大小：222K 更新时间：2018-09-14 下载积分：0分

    射频电源是可以产生固定频率的正弦波、具有一定频率的高频电源，主要由射频信号源、射频功率放大器及阻抗匹配器组成，射频电源作为等离子体配套电源，广泛应用于半导体工艺设备、ＬＥＤ与太阳能光伏行业、科学实验中...

    标签：射频电源
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