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一种应用于半导体制造业的支持向量机SVM检测方法

更新时间：2020-10-28 10:38:45 大小：3M 上传用户：zhengdai查看TA发布的资源 标签：半导体制造svm检测 下载积分：2分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

提出一种支持向量机SVM的检测方法,用于半导体制造过程中特征参数检测。首先对SVM模型进行分析,结果显示2D SVM和模糊SVM模型效果最佳。然后提出一种将2D SVM和模糊SVM这两种模型结合的方法,证明了这种方法更有利于半导体晶圆厂检测产品的各种特征参数。

In this paper,a detection method of support vector machine(SVM)is proposed for feature parameter detection in semic on ductor manu facturi ng process.Firstly,the SVM model is an alyzed,and the results show that the two-dimensional SVM and the fuzzy SVM model are the best.Then a method combining the two models of 2D SVM and Fuzzy SVM is proposed,which proves that this method is more advantageous for semiconductor wafer factory to detect various characteristic parameters of products.

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