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集成电路生产设备管线的二次配空间管理
资料介绍
空间管理工作主要为Fab内各系统管线的综合布置和科学的分类与布局。通过对各类管线的平面及立体空间管理,有效避免各系统管线之间的位置冲突,合理的规划各系统的管线路径,预留出合理的二次配空间;达到各类管线布局整齐划一的观感效果。
Space management is mainly about the comprehensive arrangement and scientific classification and layout of various systems and pipelines in ough the plane and threedimensional space management of all kinds of pipelines,it can effectively avoid the position conflict between the pipelines,rationally plan the pipeline diameter of each system,reserve reasonable secondary allocation space,and achieve the uniform layout of all kinds of pipelines.
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