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大规模集成电路中激光技术的运用研究
资料介绍
在大规模集成电路中,激光技术在其中发挥着重要的作用。无解除加工是激光加工的主要特征,其能量密度大,光束直径小,加工质量可靠稳定,生产效率高。因此,在大规模的集成电路中,应该积极借鉴和应用该项技术。
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