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高精度硅微谐振加速度计频率测量输出电路

更新时间：2020-10-02 22:23:45 大小：3M 上传用户：IC老兵查看TA发布的资源 标签：加速度计 下载积分：1分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

硅微谐振加速度计是一种频率输出的MEMS仪表,针对其差动频率输出的特点和对静态与动态高精度测试精度的要求,设计并实现了一种高精度频率输出电路,实现了差动频率的实时相减和静态与动态频率信号输出.对电路及仪表的精度进行了测试,测试结果表明,该电路稳定性可达到1×10-9,全温范围内(-40～+70℃)非线性优于1×10-7,频率分辨率可达到1×10-5,测试精度满足仪表系统精度要求,使仪表更满足工程应用的条件.根据实际工程应用要求,还对该电路提出了抗干扰设计,进一步提高了该电路的工程应用可靠性.

The silicon micromechanical resonant accelerometer is an MEMS instrument with frequency output. In view of the differential frequency's output characteristics and in order to satisfy the requirement of static and dynamic high-accuracy test, a high-accuracy frequency exportation circuit was designed, which realized the real-time subtraction of differential frequency and the output of static or dynamic frequency signal. The accuracy test of the circuit and the gauge shows that the circuit stability can reach 1×10-9, the non-linearity is better than 1×10-7 in full temperature range of -40~+70 , and the resolution can reach ≥1×10-5. The test accuracy satisfies the accuracy requirements of the gau...

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