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微机电系统电容式微位移检测电路研究
资料介绍
针对通常微机电系统（MEMS）器件或仪表中微小位移／角度等电容式微弱信号检测的需要，提出了一种基于单载波激励和环形二极管解调的方案，主要包含C／V转换、带通滤波，环形二极管解调，差动放大等环节。基于PSpice的仿真与测试实验表明，该电路检测灵敏度可达3．12V／pF，可满足通常MEMS器件的纳米级微位移测量，且具有体积小、功耗低、易集成等特点，对于微加速度计、陀螺仪、压力传感器等具有良好的实用价值。
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| 微机电系统电容式微位移检测电路研究.pdf | 473K |
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