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集成电路制造中制程能力的提升

更新时间：2020-07-27 06:31:35 大小：260K 上传用户：IC老兵查看TA发布的资源 标签：集成电路 下载积分：5分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

集成电路制造要经过成百上千个步骤，如果有一个步骤出现问题就会导致产品报废。所以在制造过程中及时发现问题，并给出有效的纠正预防措施就显得非常重要。介绍了在集成电路制造中使用统计过程控制SPC的方法，建立有效的控制规范和合理的监控频率，以便及时发现制程中存在的问题，及早制定出纠正预防措施，减少异常面的扩大。通过案例分析，详细介绍了统计过程控制SPC在集成电路制造中的运用，通过使用统计过程控制SPC的方法逐步提升制程能力，将制程稳定在受控状态。

Integrated circuit manufacturing need go through hundreds of steps. If there is something wrong in one step, it will lead wafer scrap. So to detect and solve the problems timely is very important for manufacturing. Using SPC method in integrated circuit manufacturing need set up efifciency control limit and available monitoring frequency. Then can detect the problems timely, and push engineers to solve it. Thus the process ability can be improved, and process in a controlled state.

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