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电阻应变式位移传感器电路设计与实现

更新时间：2020-07-20 06:21:20 大小：272K 上传用户：IC老兵查看TA发布的资源 标签：位移传感器 下载积分：5分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

超精密平台中使用压电陶瓷驱动器提供位移进给，采用集成应变式位移传感器的驱动器能够减小磁滞与蠕变特性，提高位移控制精度。设计并实现应变式位移传感器位移检测电路，介绍电阻应变式位移传感器位移测量原理；设计位移传感器电路，采用仪表放大器、同相衰减器与低通滤波器电路得到正比于位移变化的电压信号并输出；最后对位移传感器电路进行实验验证。实验结果表明：设计的传感器检测电路的电噪声峰一峰值为0．390mV，输出电压分辨率小于0．6mV，对应的位移传感器的分辨可达1nm，能够有效提高压电陶瓷的精度。

Ultra-precision platform uses piezoelectric ceramic drivers to provide displacement feed. Strain gauge displace- ment sensor integrated drivers can be used to reduce the hysteresis and creep characteristics and improve precision of the displacement control. This paper designs and implements the displacement measuring circuit for the strain displacement sensor. The measurement principle of the resistance strain displacement sensor is introduced. Then, the displacement sensor circuit is designed, using instrumentation amplifier in-phase attenuator and low-pass filter to obtain and output voltage signal that proportional to displacement change. Finally, the experiments of the displacement sensor cir...

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