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声光固体光学位置传感器
资料介绍
摘要：本文描述了基于相位测量有源三角测量技术的声光（AO）固体光学位置传感器。这种传感器具有广阔的应用范围。给出了传感
器的系统结构、工作原理、特点和3-D 表面分布测量结果。
关键词：有
器的系统结构、工作原理、特点和3-D 表面分布测量结果。
关键词：有
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