- 1
- 2
- 3
- 4
- 5
多孔硅基湿敏传感器的制作与性能研究
资料介绍
随着湿度在人们日常生活中起着越来越重要的作用,湿度信息越来越受到人们的关注。测量精度高、灵敏度高、温度系数小、稳定性好、使用寿命长、响应速度快、抗腐蚀、制造工艺简单、易于批量生产、成本低等性能是理想的湿敏传感器的基本要求,并且适于在宽温、湿范围内使用。
由于湿敏器件应用领域不同,对湿度传感器的技术要求也不同。从制造角度看,同是湿度传感器,由于材料、结构不同,工艺不同,其性能和技术指标有很大差异。本文以多孔硅作为研究材料,分析了其感湿机理,从电容角度展开研究,首先制备了多孔硅并对多孔硅的基本特性进行研究。而后以多孔硅作为感湿介质制作了电容式多孔硅湿度传感器,并对传感器的性能进行测试。对湿度传感器的性能进行测试,最终得到了(80mA／cm2,30min)和(40mA／cm2,20min)条件下(此条件为多孔硅的腐蚀生长条件),得出在不同的湿度变化时,传感器的灵敏度曲线,这些数据将对我们的研究有很好的指导作用。完成了湿度信号采集电路及显示电路的设计,将制作的电容湿度传感器的电容值,通过单片机进行编程,转换为具体的相对温度值,通过LED数码管显示电路显示出相对湿度值。
部分文件列表
| 文件名 | 大小 |
| 多孔硅基湿敏传感器的制作与性能研究.pdf | 3M |
最新上传
- 打赏
- 30日榜单
-
21ic小能手 打赏10.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏10.00元 3天前
-
cai0603 打赏3.00元 3天前
用户：CJQ_ENJOY
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏10.00元 3天前
-
cai0603 打赏3.00元 3天前
用户：dongshao
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏10.00元 3天前
-
21ic下载 打赏310.00元 3天前
用户：gsy幸运
-
21ic下载 打赏310.00元 3天前
用户：zhengdai
-
21ic下载 打赏310.00元 3天前
用户：小猫做电路
-
21ic下载 打赏310.00元 3天前
用户：liqiang9090
-
21ic下载 打赏270.00元 3天前
用户：kk1957135547
-
21ic下载 打赏160.00元 3天前
用户：w178191520
-
21ic下载 打赏160.00元 3天前
用户：w1966891335
-
21ic下载 打赏50.00元 3天前
用户：w993263495
-
21ic下载 打赏40.00元 3天前
用户：w993263495
-
21ic下载 打赏90.00元 3天前
用户：cooldog123pp
-
21ic下载 打赏30.00元 3天前
用户：sun2152
-
21ic下载 打赏40.00元 3天前
用户：xzxbybd
-
21ic下载 打赏40.00元 3天前
用户：铁蛋锅
-
21ic下载 打赏30.00元 3天前
用户：happypcb
-
21ic下载 打赏50.00元 3天前
用户：forgot
-
21ic下载 打赏10.00元 3天前
用户：xuzhen1
-
21ic下载 打赏20.00元 3天前
用户：wanglu6666
-
21ic下载 打赏5.00元 3天前
用户：人间留客
-
21ic下载 打赏5.00元 3天前
用户：jyxjiyixing
-
21ic下载 打赏5.00元 3天前
用户：akae_du
-
21ic下载 打赏5.00元 3天前
用户：ouyang_56
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
xlhtracy 打赏10.00元 3天前
-
xlhtracy 打赏10.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
xlhtracy 打赏5.00元 3天前
-
czmhcy 打赏1.00元 3天前
资料：bitboy
全部评论(0)