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一种硅微压阻式压力传感器的研究
资料介绍
【摘要】研究了一种量程为20kPa的压阻式微压力传感器，同时采用ANSYS仿真得出影响传感器
性能的一些规律。应用小挠度理论设计计算了压阻式硅传感器方形弹性膜片结构，并对圆形膜片与方形膜
片进行了比较，同时设计了硅芯片以及压敏电阻的尺寸和阻值。通过模型分析和对方型硅膜片的模拟计
算，确定了压敏电阻最佳放置位置，来提高灵敏度；并在各个不同的压力下仿真出应力分布图、得出输入一
输出关系图及应力峰值。研究为压阻式微压力传感器的结构以及优化、稳健设计提供了一定参考。
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| 一种硅微压阻式压力传感器的研究.pdf | 244K |
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