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Sentaurus TCAD器件工艺模拟教程

更新时间:2019-10-15 15:42:27 大小:3M 上传用户:huizhao查看TA发布的资源 标签:sentaurustcad器件工艺EDA 下载积分:2分 评价赚积分 (如何评价?) 收藏 评论(1) 举报

资料介绍

Sentaurus是Synopsys公司的专门用于半导体器件制造工艺和电学特性仿真的EDA软件,可以给出掺杂、电势分布等物理特性

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Sentaurus TCAD 2007.03 培训(XXXX 计算机学院 XX 组)  
目录  
Sentaurus TCAD 培训.......................................................................................................................................... 1  
工具简介..............................................................................................................................................................2  
ATCAD 是什么?(10 分钟)  
2
.................................................................................................................  
A.1 TCAD 与半导体工业...................................................................................................................... 2  
A.2 工艺模拟.......................................................................................................................................2  
A.3 器件模拟  
2
.......................................................................................................................................  
BTCAD 包含哪些工具?(20 分钟)......................................................................................................3  
B.1 Sentaurus Workbench  
3
....................................................................................................................  
B.2 Ligament......................................................................................................................................... 4  
B.3 Sentaurus Process...........................................................................................................................4  
B.4 Sentaurus Structure EditorSDE............................................................................................... 5  
B.5 Mesh and Noffset3D.......................................................................................................................5  
B.6 Sentaurus Device............................................................................................................................ 6  
B.7 Tecplot SV  
6
.......................................................................................................................................  
B.8 Inspect............................................................................................................................................ 7  
B.9 Calibration Kit................................................................................................................................. 7  
SWB  
8
8
......................................................................................................................................................................  
A. Getting Started15 分钟)  
....................................................................................................................  
A.1 概述...............................................................................................................................................8  
A.2 启动 SWB...................................................................................................................................... 8  
B. 运行工程(30 分钟)  
9
............................................................................................................................  
B.1 加载 SWB 工程..............................................................................................................................9  
B.2 改变树的显示属性..................................................................................................................... 10  
B.3 清空工程目录  
10  
.............................................................................................................................  
B.4 运行工程.....................................................................................................................................10  
B.5 查看输出结果.............................................................................................................................11  
C. 创建工程(30 分钟)  
11  
..........................................................................................................................  
C.1 设置工具流.................................................................................................................................11  
D. 组装多个实验(30 分钟)..................................................................................................................12  
D.1 添加参数  
12  
.....................................................................................................................................  
D.2 设置多个实验.............................................................................................................................13  
D.4 创建方案.....................................................................................................................................14  
D.5 裁剪工程树  
15  
.................................................................................................................................  
D.6 添加变量.....................................................................................................................................15  
16  
Ligament  
.............................................................................................................................................................  
A. Getting Started 10 min....................................................................................................................... 16  
A.1 简介.............................................................................................................................................16  
A.2 Ligament 流程编辑器.................................................................................................................. 16  
A.3 Ligament 版图编辑器  
16  
..................................................................................................................  
A.4 Ligament Translator......................................................................................................................16  
B. Ligament 流程编辑器 30 min............................................................................................................... 16  
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