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MEMS加速度传感器技术的研究进展

更新时间：2016-05-04 22:31:09 大小：319K 上传用户：liu_ndt查看TA发布的资源 标签：传感器MEMS 下载积分：2分 评价赚积分 （如何评价?） 收藏 评论(0) 举报

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一篇关于MEMS发展现状的论文 可供论文概述用

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MEMS加速度传感器计量检测技术的研究进展.pdf 319K

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