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基于Halcon的IC测试探针表面质量的机器视觉检测系统
资料介绍
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（完整内容请下载后查看）Vol.35, No.1
Feb. 201ꢀ
第
卷 第 期
1
35
江西理工大学学报
年
月
2
Journal of Jiangxi University of Science and Technology
2014
文章编号：2095-3041（2014）00-0060-05
DOI：10.13265/j.cnki.jxlgdxxb.2014.01.010
a b a
徐 鹏 ， 黄志红 ， 刘飞飞 ， 罗贤平
c
（江西理工大学， 电气工程与自动化学院； 期刊社； 机电工程学院，江西 赣州
a. b. c.
）
34ꢀꢃ00
摘
要： 测试是集成电路生产中的重要工序，探针表面诸如划痕、凹坑等缺陷对性能测试结果
IC
影响大 文章研究了
探针表面质量的机器视觉检测方法，讨论了灰度变换、均值滤波、区域连
.
IC
通、图像分割等缺陷图像处理和形状识别方法，建立了相应的探针表面质量检测系统，并基于机
器视觉软件 开发了探针表面质量检测系统软件 实验表明： 开发的检测系统可对直径
Halcon
.
的
测试探针表面质量进行快速检测评估，且系统的稳定性好、检测精度高，能有
0.3~0.6 mm
IC
效缩短检测时间和减少检测成本
.
关键词： 测试探针；表面质量检测；机器视觉；
IC
软件
Halcon
中图分类号：
文献标志码：
A
TP391
Surface quality machine vision inspection system of IC probe by
the Halcon software
a
b
a
， ， ，
XU Peng HUANG Zhi-hong LIU Fei-fei LUO Xian-ping
c
（
Jiangxi University of Science and Technology, a. School of Electrical Engineering and Automation; bꢄ Periodical Press;
）
c. School of Mechanical & Electrical Engineering, Gannzhou 341ꢃꢃꢃ, China
Abstract: IC detection is an important step in the IC manufacture. The defects of IC probe surface, such as the
abrasion and dent, deeply effect on the performance detection result. In this paper, the probe surface quality
inspection method by the machine vision is studied, the defect image process and shape recognization method
are discussed with the gray transform, mean filtering, region link and image segmentation. The surface quality
inspection system is developed by means of Halcon software. It is satisfactory that the fast and accurate
detection of the IC detection probe with its diameter of ꢃ.3 ~ ꢃ.6 mm and the detection cycle and low cost.
Key wordsꢀ IC detecting probe; surface quality inspection; machine vision; Halcon software
[ꢀ]
片只有通过了探针的测试才允许进行下一道工序
ꢄ
探针表面常常存在划痕和凹坑等缺陷，这些缺陷尺
引
言
0
寸小且随机分布等 探针表面缺陷一般将影响其
ꢄ
与测试点的接触电阻、触电压力等参数，从而影响
集成电路封装之前，需要将探针卡压到芯片的
电极板上进行功能测试，探针是测试卡上用来与芯
[2]
测试过程的准确度 因此，在探针制造过程中，严
ꢄ
格控制其表面质量显得非常重要 传统的探针质
ꢄ
片进行电气连接的一种微小尺寸部件 （如图 ），芯
ꢀ
收稿日期：2014-0ꢀ-ꢀ3
基金项目 江西省教育厅科技项目（
）
:
GJJꢁ8271
），男，硕士研究生，主要从事机器视觉和嵌入式系统等方面的研究，
Eꢂmail:.
徐
鹏（
199ꢁꢂ
作者简介：
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