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半导体器件 sentaurus TCAD设计与应用[韩雁,丁扣宝][电子教案(PPT版本)]

更新时间:2019-09-12 17:38:45 大小:3M 上传用户:sxm1084查看TA发布的资源 标签:半导体器件tcad 下载积分:2分 评价赚积分 (如何评价?) 收藏 评论(2) 举报

资料介绍

Sentaurus TCAD全面继承了Tsuprem4,Medici和ISE-TCAD的特点和优势,它可以用来模拟集成器件的工艺制程,器件物理特性和互连线特性等。Sentaurus TCAD提供全面的产品套件,其中包括Sentaurus Workbench, Ligament, Sentaurus Process, Sentaurus Structure Editor, Mesh Noffset3D, Sentaurus Device, Tecplot SV Inspect, Advanced Calibration等等。Sentaurus Process和Sentaurus Device可以支持的仿真器件类型非常广泛,包括CMOS,功率器件,存储器,图像传感器,太阳能电池,和模拟/射频器件。sentaurus TCAD还提供互连建模和参数提取工具,为优化芯片性能提供关键的寄生参数信息。


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第1章_半导体工艺及器件仿真工具Sentaurus_TCAD.ppt 3M

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